改进的硅各向异性腐蚀GPU并行模拟
陈劲源,李建华,郭卫斌
华东理工大学 信息科学与工程学院，上海 200237
Improved parallel simulation of silicon anisotropic etching based on GPU
CHEN Jingyuan,LI Jianhua,GUO Weibin
School of Information Science and Engineering, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, China
摘要 硅各向异性腐蚀过程复杂，采用元胞自动机模拟硅各向异性腐蚀非常耗时。为了加速腐蚀模拟过程，研究了基于图形处理器(GPU)进行硅的各向异性腐蚀模拟。针对串行算法直接并行化方法存在加速效率低等问题，提出了一个改进的并行模拟方法。该方法增加了并行部分的负载，减少了内存管理的开销，从而提高了加速性能。实验证明该方法能够获得较理想的加速比。
关键词 ：
各向异性腐蚀 ,
元胞自动机 ,
模拟 ,
图形处理器 ,
并行计算
Abstract ：Silicon anisotropic etching simulation is time-consuming due to its complex chemical process. In order to accelerate the process, the GPU-based silicon anisotropic etching parallel simulation was discussed, and an improved parallel method was proposed to improve the direct parallelization of serial algorithms method with low efficiency. In this method, the parallel load of the direct parallelization was increased, the memory management cost was reduced, and the acceleration performance was improved. The experimental results show that the method can achieve a simulation with higher speedup.
Key words ：
anisotropic etching
Cellular Automaton (CA)
simulation
Graphics Processing Unit (GPU)
parallel computation
收稿日期: 2013-07-29
出版日期: 2013-12-31
基金资助: 国家自然科学基金资助项目;国家科技重大专项
通讯作者:
李建华
E-mail: jhli@ecust.edu.cn
作者简介 :
引用本文:
陈劲源 李建华 郭卫斌. 改进的硅各向异性腐蚀GPU并行模拟[J]. 计算机应用, 2013, 33(12): 3317-3320.
CHEN Jingyuan LI Jianhua GUO Weibin. Improved parallel simulation of silicon anisotropic etching based on GPU. Journal of Computer Applications, 2013, 33(12): 3317-3320.
链接本文:
http://www.joca.cn/CN/ 或 http://www.joca.cn/CN/Y2013/V33/I12/3317
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